ニュースリリース - 2006年7月25日

シノプシスのPrimeYield LCCとIC Compilerのリンクによりリソグラフィ・エラーを自動修正

東芝がこの製造実績に裏付けられた統合DFMテクノロジを標準レイアウト設計フローに採用

2006年7月24日 カリフォルニア州マウンテンビュー発 - 半導体設計ツールの世界的リーダーであるシノプシス（Synopsys, Inc.、Nasdaq上場コード:SNPS）は本日、新しいデザイン・イールド解析ツールPrimeYieldにより、設計工程の早い段階で製造上の問題点の自動修正が可能になったと発表した。本日のもう一つの発表にあるように、PrimeYieldは、イールドに悪影響を及ぼすデザイン上のメカニズムを予測し、問題点の自動修正に必要な情報を前段階のデザイン・インプリメンテーション・ツール群に提供することによって、デザイン工程とマニュファクチャリング工程を統合する。（別途発表の “シノプシス、DFM分野のリーダーシップを拡大 - イールド解析ツールPrimeYieldを発表” を参照）PrimeYieldのLCC(Lithography Compliance Checking)モジュールは、最先端のフィジカル・インプリメンテーション・ソリューションであるIC Compilerとタイトにリンクされており、65nm以降のチップ・デザインで発生するリソグラフィ関連の問題点を迅速に特定し修正できるようになる。

株式会社東芝　セミコンダクター社　システムLSI設計技術部　部長　大脇幸人氏は次のように述べている。「設計部門の生産性向上は当社にとって最重要事項です。シノプシス社のPrimeYield LCCは、リソグラフィ上の問題点を特定し、問題点の修正に必要な情報を当社の配置配線ツール環境であるIC Compilerにフィードバックする自動化されたシームレスな手法を提供してくれます。我々は、PrimeYield LCCテクノロジの高い効率と精度に大いに期待しており、当社の標準レイアウト設計フローに組み込んでいく予定です。」

PrimeYieldにより、設計者は65nm以降の最先端テクノロジ・ノードのデバイスの製造に影響する問題点を事前に把握できるようになる。PrimeYieldは、3つのコア・モジュールでこれらの問題点に対処する。すなわち、LCC(Lithography Compliance Checking)モジュール、モデルベースCMP(Chemical Mechanical Polishing)チェッキング・モジュール、CAA(Critical Area Analysis) モジュールである。設計者にとっては、自身の設計をテープアウトする前に修正したり改善する重要なツールセットを手に入れたことを意味する。

PrimeYieldは、デザイン・インプリメンテーション工程へタイトにリンクされており、IC Compilerで問題点の自動修正を行い、Star-RCXTで高精度な奇生容量抽出を実行できる。シノプシスは本日、業界標準のスタティックタイミング解析ツールPrimeTimeと奇生容量抽出ツールStar-RCXTへのバリエーション・アウェア解析機能拡張（Star-RCXT VXとPrimeTime VX）の発表も行っているが、これにより設計工程と製造工程のリンクをさらに強化し、65nm以降のデザインで設計結果の信頼性を高め、パラメトリック・イールドを向上させることができるようになる。

IC Compilerは、フィジカルシンセシス/配置/配線/タイミング最適化/SI最適化/低消費電力化/テスト容易化/イールド最適化といった次世代デザインに必須のあらゆる設計要素を実行できる最先端のフィジカル・インプリメンテーション・ソリューションである。IC Compilerは、配置配線の全工程に渡ってフィジカルシンセシスを実行可能にし、サインオフ環境下でのデザイン･クロージャーを可能にすることによって、優れた設計結果と開発期間短縮を実現する。

シノプシス　シリコン・エンジニアリング・グループ　ジェネラル・マネージャー、兼上級副社長、兼CTOであるRaul Camposanoは、次のように述べている。「PrimeYieldにより、シノプシスは製造上の問題点の特定と修正の両方を自動化するソリューションをご提供します。PrimeYield LCCとIC Compilerのリンクは、東芝様のような業界をリードする半導体メーカーにとっては、設計者の効率を改善し、適正イールド達成までにかかる期間を短縮する意味で非常に価値のあるソリューションです。」

シノプシスのDFMソリューションについて
シノプシスは、DFMツール群の提供を通じ、RTL設計からシリコン製造までサポートできる業界で最も包括的なDFMソリューションを拡張し続けている。シノプシスのDFMツール・ファミリーは、マニュファクチャビリティ確保、イールド向上といった重要な課題を解決するツールおよび技術である。シノプシスのDFM製品は、フィジカル・インプリメンテーション・ソリューションIC Compiler、PrimeYield LCC/PrimeYield CMP/PrimeYield CAA、フィジカル検証ツールHercules、OPCツールProteus、マスクデータ・プレパレーションに用いるCATS、リソグラフィー検証ツールSiVL、特許技術のPSM(Phase Shift Mask)テクノロジ、およびプロセス・デバイス・シミュレーションのためのTCADツール群から構成される。シノプシスのマニュファクチャリング・イールド・マネージメント（MYM）ソリューションはファブに直結したソリューションであるため、お客様はランダム欠陥/システマティック欠陥/パラメトリック欠陥の削減に必要となるイールド・データならびに解析機能をリアルタイムで活用できる。