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DiffractMOD Product Overview
회절 광학 구조를 위한 RCWA 시뮬레이션 도구
DiffractMOD™는 회절 광학 소자, 파장 이하 주기 구조 및 광밴드갭 결정과 같은 회절 광학 구조를 위한 설계 및 시뮬레이션 도구입니다. 고속 푸리에 분해 (Fast Fourier factorization) 및 모드 전송선로 이론 (Modal Transmission Line Theory)을 포함한 고급 알고리즘을 사용하여 구현된 RCWA (Rigorous Coupled Wave Analysis) 기술을 기반으로 합니다. 이미 시장을 선도하고 있는 이 도구는 반도체 제조 및 파동 광학을 포함한 광범위한 영역에서 다양한 적용분야에 적용되고 있습니다.
금속 격자 구조의 필드 프로파일
특장점
- 기본 RCWA를 확장하고 견고성, 효율성 및 사용자 친화성을 개선하기 위한 고급 알고리즘 옵션 보유
- RSoft CAD Environment 에 완전히 통합
적용분야
DiffractMOD는 손실 또는 분산 물질로 구성된 유전체 및 금속 구성 요소를 포함하는 복잡한 주기적 구조에 적용할 수 있습니다. 아래 항목을 포함하되 이에 국한되지 않으며 광범위하게 다양한 장치에 적용할 수 있습니다.
- Waveguide resonance gratings
- Diffractive Optical Elements (DOEs)
- Surface relief and volume index gratings
- Wavelength filters
- Optical metrology
- Nanolithography
- Polarization sensitive devices
- Artificial dielectric coatings
- Photovoltaic systems
- 3D displays
- Optical interconnections
- Optical data storage
- Spectroscopy
주요 기능
- 수렴을 개선하기 위해 사용되는 고급 알고리즘 옵션
- 무조건 안정적인 시뮬레이션을 보장하는 Modal Transmission Line (MTL) 프레임워크
- 2D 와 3D에 대한 full-vector 시뮬레이션 (원추형 입사 허용)
- TM 필드의 수렴을 개선하기 위해 사용되는 역 규칙 (3D 시뮬레이션의 경우 DiffractMOD는 구조에 따라 적절한 알고리즘 선택 가능)
- 금속의 물질 분산 및 복소 굴절률 고려
- 모든 회절 차수에 대한 회절 효율의 스펙트럼 계산, 표시 및 출력
- 총 반사율/투과율 및 흡수율 계산
- 정교한 필드 출력 옵션을 통한 모든 위치에서의 필드 프로파일 계산 및 표시
- 모든 회절 효율에 대한 스펙트럼 vs. 파장, 각도 및 편광 쉽게 계산
- 일반적인 계측 매개변수 직접 출력
DiffractMOD를 사용한 Phase Shift Mask 시뮬레이션
Application Gallery
Multi-Junction Organic Solar Cells
Tools Used: Solar Cell Utility, DiffractMOD, LaserMOD, MOST
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