DiffractMOD RCWA | 新思科技

DiffractMOD 产品概览

用于衍射光学结构的 RCWA 模拟工具

DiffractMOD™ 是一种用于衍射光学结构的设计和模拟工具,例如衍射光学元件、次波长周期结构和光子带隙隙晶体。它基于严格耦合波分析 (RCWA) 技术,该技术已使用高级算法实现,包括快速傅里叶分解和泛用传输线公式。该工具在半导体制造和波动光学等领域有广泛的应用,已成为市场领导者。

产品优势

  • 在基础 RCWA算法扩充高级算法选项以提高其稳健性、效率和易用性

  • 完全集成到 RSoft CAD Environment中。

应用领域

DiffractMOD 可以处理复杂的周期性结构,包括含有有损耗介质的或色散材料的电介质和金属元件。它适用于广泛的器件模拟,包括但不限于:

  • 波导共振光栅

  • 衍射光学器件 (DOE)

  • 表面浮雕和折射率光栅

  • 滤波器 

  • 光学测量

  • 纳米光刻

  • 偏振传感器

  • 人工电介质镀膜 

  • 光伏系统

  • 3D 显示

  • 光互连

  • 光学数据存储 

  • 光谱学

产品特色

  • 高级算法选项可用于提高收敛性

  • 模态传输线 (MTL) 框架可确保模拟稳定性

  • 2D 和 3D 的全向量模拟,并允许圆锥入射

  • 使用逆推法来提高TM 场域的收敛性。 对于 3D 模拟,DiffractMOD 可以根据结构选择合适的算法。 

  • 可考量金属的材料色散和复杂折射率

  • 计算、显示和输出衍射效率光谱

  • 计算总反射功率、发射功率和吸收功率

  • 精密的场域输出选项可使用户在任何位置计算和显示场域配置资料 

  • 可以轻松计算任何衍射效率的光谱与波长、角度和偏振的关系

  • 直接输出常用计量参数

使用 DiffractMOD 模拟相位移光罩

软件应用范例图库