光罩数据准备

光罩制造卓越

用于半导体、TFT、HDD、MEMS 以及光电光罩和直接写入设备数据准备的 CATS 光罩数据准备 (MDP) 软件是具有高扩展性、易于使用且功能多样的产品套件,能够为数据分裂、数据验证、MRC、PEC、jobdeck 处理、层操作和数据大小调整提供数据准备模块。CATS 为光罩流片团队提供与 Proteus 的无缝扩展。