TCAD

计算机辅助设计技术 (TCAD)

半导体加工、器件操作和技术研发与制造的互连特性的仿真。

促进创新的工艺和器件仿真工具

计算机辅助设计 (TCAD) 是指利用计算机仿真技术,开发及优化半导体器件及其加工技术。Synopsys TCAD 提供了全面的产品套件,包括行业领先的工艺及器件仿真工具、及管理仿真任务和分析仿真结果的强大 GUI 驱动仿真环境。TCAD 工艺及器件仿真工具支持各类器件的应用,如 CMOS、功率、存储器、图像传感器、太阳能电池及仿真/RF 器件。此外,Synopsys TCAD 还提供互连建模和提取工具,提供优化芯片性能所需的重要寄生参数信息。 

主要优点

  1. 探索新的器件结构,以选择可行的工艺和器件开发途径。
  2. 使用 TCAD 充分探索工艺参数窗口,同时减少实验晶圆数量及开发周期,从而优化工艺模块和集成。
  3. 应用 TCAD 来获取和分析工艺变化对器件性能的影响,并提高工艺能力、稳定性和产量。

概述

计算机辅助设计 (TCAD) 是指利用计算机仿真技术,开发及优化半导体器件及其加工技术。Synopsys TCAD 软件计算基本的物理偏微分方程式,如扩散和运输方程式,以便对半导体器件的结构及电学特性进行仿真。该基于完整的物理模型的仿真方式保证 TCAD 仿真在很大技术范围里的预测精确度。因此,在开发新型半导体器件及其电学特性时,TCAD 仿真方法用于减少高成本且耗时的晶圆测试。

所有领先的半导体公司在整个技术开发周期均使用了 Synopsys TCAD 工具。在技术开发的早期阶段,TCAD 工具允许工程师探索产品设计的替代方案,如设计衬底以增强沟道迁移率,并在试验数据获取困难的情况下仍满足性能目标。在工艺集成阶段,工程师可使用 Synopsys TCAD 工具允许工程师仿真分组实验,如试验设计 (DOE) 以全面了解工艺特征并优化工艺,从而减少在实际晶圆上的试验运行以节省时间和成本。在大批量生产阶段,TCAD 工具提供高级工艺控制机制,因此可提高参数成品率。