制造规则检查 (MRC) 

确保光罩可制造性 

设计界通常很熟悉 DRC(设计规则检查)的概念。设计在进入流片阶段前通常会使用 DRC 进行验证。DRC 通常包括最小宽度和间距检查,也可能包括其他一些验证流程。

CATS 支持制造规则检查(我们称为 MRC)。它与 DRC 的唯一区别在于验证的数据类型不同。在 DRC 通常仅限于分析设计数据的情况下,CATS 的 MRC 可用于在设计数据、分解的电子束数据、检测数据、PG 数据甚至 jobdeck 中找出最小宽度和间距违规情况。

典型 DRC 的价值仅限于设计范畴内。虽然它可以帮助设计师验证原始设计没有违反最小宽度或间距标准,但无法确保数据操作可以在数据准备的分解和 jobdeck 设置阶段中通用。

而 CATS 的 MRC 不仅有助于验证这些流片阶段后的操作未违反设计规则,还可以用来确保根据可用曝光和检测系统所限制造相应部件。

例如,以下数据所示的案例中,CATS 间距检查找到了一个亚微米间距。如果光罩制造商的工具、流程或检测系统无法生产这一部件,或者至少希望知道存在这种情况以便在整个制造和检测流程中仔细检查,那么 MRC 就能起到至关重要的作用。