光刻输出选项 

针对光罩和直写的综合数据准备解决方案 

CATS 软件包将设计数据转译为电子束和激光加工机器可读的指令。这包括对几乎所有光罩和直写设备提供商的支持。CATS 与各家光刻工具制造商密切合作,确保所有数据转换都经过优化和测试,可实现光罩加工机器的高性能。以下是当前支持的接口格式列表,按光刻技术类型(电子束、激光、光学图像发生器)分类。

光刻输出选项:
    电子束:
    • Cambridge
    • Hitachi
    • JEOL
    • MEBES
    • Philips
    • Toshiba/NuFlare
    • Varian ALF

    激光:

    • Applied Materials ALTA
    • Micronic

    光学图像发生器:

    • Electromask English, Metric
    • Mann 3000, 3600, Eng., Metric