基本和高级分解 

 CATS 分解是 CATS 套装的核心 

CATS 分解、相关选项及性能是 CATS 套装的核心。 一些定义有助于您了解以下详细信息。 首先,“库文件”指结构化设计文件,其次,“平面文件”指非结构化的光刻文件。 分解操作包括:

  1. 将设计数据(CIF™、Applicon™、DXF™ 或 GDS-II™、OASIS®)中的多边形转换为电子束工具文件或检测数据库中的矩形和梯形
  2. 转换光学图像发生器数据文件中的矩形和旋转矩形。
  3. 重新分解一组数据,以进行缩放或调整操作。
分解选项包括:

格式: 根据输出光刻选项指定输出文件格式。

分辨率: 在输出文件中定义最小的可分辨单元。

调整: 单个矩形和梯形的对称或非对称调整。

缩放: 指定分解期间适用于数据的连续比例因子。

扩大: 调整、缩放和布尔运算后正或负增量偏置。

布尔运算:或、和、异或、减和比较;组合或比较两个输入文件。

去除重叠: 修复和/或组合邻近或重叠的图形。

数据压缩: 算法集从阵列或非阵列输入中生成阵列。

空白和填充: 在输入文件中指定分解期间需要忽略或填充的区域。

精简: 指定分解期间需要忽略的库结构。

反调: 允许数据在分解期间被反调。

旋转: 以 90 度的增量旋转输入数据,或以 45 度的增量镜像旋转输入数据。

选择: 绘图和分解期间从输入文件中选择数据所用的方法。

条带状: 根据输出格式规则输出数据块或条带状高度和宽度。