全球几乎所有的光罩制造厂都安装了 CATS，它是光罩制造、检测、测量和晶圆直写的实际工业标准。
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CATS
技术领先的光罩数据准备
CATS® 是一款具有高扩展性和灵活性的软件应用程序，可将复杂的设计数据转译为电子束和激光加工机器可读的指令，用于生成图形和制造 IC 、MEMS、TFT-LCD、TFH、光电和生物芯片等产品。
应用
- 基本和高级分解
CATS 分解功能可解决不同光罩加工机器和检测工具面临的各种难题。
- 邻近效应校正
CATS 可校正电子束和光学邻近效应
- Jobdeck 操作
强大且高度互动的光罩和图形支持
- 制造规则检查
CATS 是市面上唯一一款支持电子束和激光照射工具以及所有主要检测工具的软件套装。
- 光刻输出选项
针对光罩和直写的综合数据准备解决方案
- 测量标志
CATS 测量标志选项可利用 Jobdeck 信息和电子束图形文件数据，营造一个以图形和命令为导向的独特环境。
- 检测数据准备
CATS 是市面上唯一一款既支持各种电子束曝光工具又支持所有主要光罩检测工具的商业软件套装。
- 分布式处理
CATS 提供了具有成本效益的高扩展性光罩数据准备。