全球几乎所有的光罩制造厂都安装了 CATS,它是光罩制造、检测、测量和晶圆直写的实际工业标准。
Synopsys 引入 Proteus LRC 用于光刻验证
经过优化的 EUV OPC 流程符合高级节点的严苛要求
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