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光刻输出选项
针对光罩和直写的综合数据准备解决方案
CATS 软件包将设计数据转译为电子束和激光加工机器可读的指令。这包括对几乎所有光罩和直写设备提供商的支持。CATS 与各家光刻工具制造商密切合作，确保所有数据转换都经过优化和测试，可实现光罩加工机器的高性能。以下是当前支持的接口格式列表，按光刻技术类型（电子束、激光、光学图像发生器）分类。
光刻输出选项：
电子束：
- Cambridge
- Hitachi
- JEOL
- MEBES
- Philips
- Toshiba/NuFlare
- Varian ALF
激光：
- Applied Materials ALTA
- Micronic
光学图像发生器：
- Electromask English, Metric
- Mann 3000, 3600, Eng., Metric