检测数据准备

支持所有主要激光曝光和检测工具

CATS 可以为以下管芯至设计检测系统提供检测支持,同时 CATS 也是市面上唯一一款既支持多种电子束曝光工具又支持所有主要光罩检测工具的软件套装。

  • KLA-Tencor 200 系列 (Klaris™)
  • KLA-Tencor 300 系列 (Falcon™)
  • KLA-Tencor 500/600 系列 (TeraScan™)
  • Applied Materials – Orbot,
  • Applied Materials – Aries
  • NEC 5000/7000

可以将设计数据、分解的电子束或图案产生器数据以及 jobdeck 转换成这些检测格式。对于不检测区域、检测区域以及标准和非标准对准点的手动和自动对准点定义,都支持数据压缩。

此选项中一个更强大的独特功能是,能够以输入文件的"自然分辨率"进行分解,从而确保在分解过程维持阵列和数据压缩。在将数据转换为实际检测格式的过程达到最后阶段之前,不需要将检测数据转换为实际的检测网格单位。此外,更改对准点或将数据重新指向不同的检测工具不必涉及数据的再分解。在许多情况下,都可以更新信息,并只需简单写出新的检查文件和新的对准点。

并且,由于此功能是 CATS 包的一个组成部分,因此了解 CATS 图形界面使用方法和基本分解技巧的用户已经知道为检测系统执行分解所需的绝大部分内容。