MDP

应用

• 基本和高级分解
  MDP 分解功能可解决不同光罩加工机器和检测工具面临的各种难题。

• 邻近效应校正
  MDP 可校正电子束和光学邻近效应

• Jobdeck 操作
  强大且高度互动的光罩和图形支持

• 制造规则检查
  MDP 是市面上少有的一款支持电子束和激光照射工具以及所有主要检测工具的软件套装。

• 光刻输出选项
  针对光罩和直写的综合数据准备解决方案

• 测量标志
  MDP 测量标志选项可利用 Jobdeck 信息和电子束图形文件数据，营造一个以图形和命令为导向的独特环境。

• 检测数据准备
  MDP 是市面上少有的一款既支持各种电子束曝光工具又支持所有主要光罩检测工具的商业软件套装。

• 分布式处理
  MDP 提供了具有成本效益的高扩展性光罩数据准备。