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先端半導体パッケージング技術とは

2025年12月8日 / 読了時間:7分

定義

先進半導体パッケージング 複数の半導体チップを1つの電子パッケージに統合する製造プロセスの総称である。この手法により、性能が向上し、消費電力とコストが削減される。

従来のパッケージングは、一区画の土地に1階建ての建物を1棟建てるようなものです。一方、先進的なパッケージングでは、より狭い土地に複数の建物を配置し、それらを橋やシャフト、トンネルでつなぐことが可能になります。これらの技術を効果的に活用する企業は、急成長を続ける半導体市場において競争上の優位性を獲得することになるでしょう。

高度なパッケージングで最も一般的に用いられる技術には、2.5D 、3D-IC、ヘテロジニアス・インテグレーション 、ファンアウト・ウェーハレベル・パッケージング、およびシステム・イン・パッケージ(SiP)があります。これらはそれぞれ、ウェーハから単一のチップを取り出し、他のチップとともに、プラスチック、金属、またはガラスで囲まれた、電気的に接続された単一のアセンブリ(パッケージ)に配置する異なる手法です。完成したパッケージは、プリント基板(PCB)またはフレキシブルテープに接続され、電子機器に組み込まれます。 

先端半導体パッケージング技術の利点

半導体技術が物理法則の限界に近づきつつあるため、より狭いスペースに多くのトランジスタを詰め込む能力の向上は鈍化しつつある。 数十年にわたり、マイクロエレクトロニクス業界は、チップ上のトランジスタ密度が2年ごとに倍増するというインテル共同創業者ゴードン・ムーアの予測(いわゆる「ムーアの法則」)を指針として、このペースに追いつくための投資や計画を行ってきた。これにより、各世代のチップはより微細なプロセスサイズと高密度化が進み、デバイス内の電気的接続が性能上のボトルネックとなっている。

アドバンスト・パッケージングは、設計者がこの制限を克服するための強力な手段です。複数のチップを3次元的に配置し、チップ間や中継用集積回路を介して直接接続を構築することで、ボトルネックを解消し、コストを削減することができます。さらに、異なる機能を持つチップを近接して配置することで、消費電力の削減、処理速度の向上、そして多機能デバイスを単一のパッケージに集約することが可能になるという利点もあります。

この単一パッケージというフォームファクタにより、複数の部品を扱う後工程での統合を、半導体製造拠点(ファブとも呼ばれる)における前工程に移行させることで、製造コスト、輸送コスト、在庫コストを削減できます。また、このアプローチにより、パッケージングの人件費も大幅に削減され、人件費の安い地域に別途パッケージング施設を設ける必要がなくなります。 

以下の素材を使用して製造されたモジュールを搭載したデバイスの申請先進半導体パッケージング

人々が生成するあらゆるデータを保存するための演算能力やメモリへの需要が高まるにつれ、より効率的で安価なマイクロエレクトロニクスデバイスが求められています。また、より高度で高性能な民生用電子機器の登場により、より小型で低消費電力でありながら、より高い機能性を備えた製品に対する市場も生まれています。測定(センサー)、データの取り込み、演算(プロセッサ)、データの保存(メモリ)、あるいはデータの出力を行うコンポーネントが追加されることで、ますます多くのデバイスが「スマート」化しています。 高度なパッケージング技術を活用することで、各機能の複数のインスタンスを単一のモジュールに統合することが可能になります。

この分野で最も急速に成長している分野の一つが自動車産業です。性能、効率、安全性を高める高度なシステムと、増え続けるセンサーの数が相まって、先進的なパッケージング技術を用いて製造された、より堅牢で効率的かつ低コストな電子モジュールへの需要が高まっています。

モノのインターネット(IoT)デバイスは、製品設計者が複数の電子機能を単一の部品に統合し、電子設計を充実させたいという要望を示すもう一つの例です。高度なパッケージング技術を用いて開発されたソリューションは、組立工程の自動化を促進し、プリント基板(PCB)の複雑さを軽減すると同時に、性能を向上させ、コストと消費電力を削減します。

アドバンスト・パッケージングは、人工知能(AI)やハイパフォーマンス・コンピューティング(HPC)が求める膨大な演算処理能力の実現に貢献しています。このアプローチにより、より小型で低消費電力の構成でありながら、より高い性能を実現できます。NVIDIAのようなAIおよびHPC向けハードウェアのベンダーは、アドバンスト・パッケージングのサプライチェーンを確立しています。これらの企業は、消費電力とコストを抑えつつ性能を向上させるために必要な多機能モジュールを製造するため、インテルやTSMCのアドバンスト・パッケージング技術を活用しています。

先端半導体パッケージング技術は、複数のテクノロジーを使用してICチップをパッケージに効率的に実装する。

先端パッケージングのコンポーネントとテクノロジー

先端パッケージングを理解するために、各コンポーネントと、半導体ファウンドリが使用するさまざまな先端パッケージング技術から説明していきます。 

 

コンポーネント

  • チップレット: 特定の機能向けに最適化された、パッケージ化されていないディスクリート型ダイ を 、パッケージレベルで他のチップレット および多機能ICチップと組み合わせたもの 。
  • ダイ:1つ以上の機能を実行するように設計された回路を含む、より大きなウェハーから切り出された半導体材料の塊。ダイがサブスレート や他のダイと接続されると、チップとなる。
  •  I/Oパッド またはバンプ : チップの表面にある導電 領域で、チップ内外への信号の送受信に使用される。
  • 相互接続: 2つ以上の回路素子を接続し、それらの間で電流を流すための構造 。通常、1つ以上のダイを接続する細い構造である。
  • インターポーザ: 1つ以上のチップとサブスレート の間に配置される 材料層。高度なパッケージングでは、この材料はシリコン系またはガラス系である場合がある。
  • プリント基板(PCB): 電子システム内の部品を電気的に接続する多層回路を備えた、剛性またはフレキシブルな平らな構造体 。剛性基板の場合は通常FR4、フレキシブル基板の場合は通常ポリアミドで製造される。
  • 再配線層(RDL): ダイ やダイの下に設けられた追加の金属化層で、内部の導電経路を含み、より有利なI/Oパッド を実現する。
  • はんだボール:半導体パッケージ内の部品を接続するために使用される、はんだの小さな球。その大きさは、接続対象によって異なります。
  • サブスレート: パッケージ内の他の部品を物理的および電気的に接続する回路を備えた平らな部品。IC(サブスレート )は、半導体材料の層と、FR4またはポリアミドで作られた積層板サブスレート から構成されています。
  • システム・オン・チップ(SoC):コンピュータや電子システムのすべての機能を単一のチップ上に集積した集積回路(IC)チップ。
  • スルーシリコンビア(TSV): シリコンウェハーの上面と下面、あるいはダイ を電気的に接続するものです 。これにより、薄い半導体材料が、部品間の相互接続として機能するようになります。
  • ワイヤー・ボンド: ダイ とサブスレート の間、あるいは複数のダイ間の配線。パッケージ内の部品を接続するこの比較的安価な方法は、従来のパッケージングにおいて主流となっている。

 

テクノロジー

  • 2.5-D: ICに複数のダイを直接実装する方式(サブスレート )とは異なり 、2.5-D技術では、ダイとサブスレート の間にインターポーザ を配置します。このインターポーザ は、TSVを用いてインターポーザ を介して信号を伝送します。
  • 3D-IC: 複数のダイを積み重ねる方式 。TSVによって各ダイが接続される。
  • ファンアウト・ウェーハレベル・パッケージング: RDL(リソグラフィー配線 )により 、チップ上の高密度なI/Oパッド から、サブスレート 上のより大きなボールグリッドアレイへと接続が 移行する。
  • システム・イン・パッケージ(SiP): 2.5D や3D-IC技術を用いて、コンピュータや電子機器の完全なパッケージを製造します。SiPでは、SoCソリューションに必要なすべてのICを配置する代わりに、複数のダイを組み合わせることで、単一のパッケージ内で同等の動作を実現します。

2.5Dスタックでは、TSVを用いたインターポーザーを使用して、複数のチップをパッケージに接合する。3Dスタックでは、ダイ内に設計されたTSVを用いて、ダイを垂直方向に接合する。

先端半導体パッケージング技術における課題

スーツケースに荷物を詰めることから、最新のGPUモジュールの製造に至るまで、パッケージングとは、必要なものをすべて限られたスペースにできるだけ効率的に収めることです。高度な半導体アプリケーションにおいては、コスト目標を維持しつつ、パワー・インテグリティ 、シグナル・インテグリティ 、サーマル・インテグリティ 、および機械的応力 といった課題にも対処しなければなりません。

 

インターコネクト

パッケージ内の各チップは、モジュールと電子機器の他の部分をつなぐI/Oパッド に接続される必要があります。そのため、パッケージには、相互接続、TSV、ワイヤなどの導電経路を設計に組み込む必要があります。これらは信号を伝送するため、各経路について、その信号が隣接する経路に干渉しないこと、および過度な発熱が生じないことを確認する必要があります。  

 

累乗

電力効率は、市場における重要な差別化要因です。顧客は、より少ない電力でより多くのことを実現したいと考えているため、パッケージ設計者は、消費電力と電力損失を最小限に抑える構成を開発し、関連技術を活用しなければなりません。

 

熱

パッケージ内のすべての部品は、電流が流れると発熱する可能性があります。そのため、パッケージには、発熱を最小限に抑え、部品から熱を放散させ、使用されるデバイスへの影響を軽減するような構成や材料を活用した熱管理ソリューションが必要です。

 

ロバスト性

パッケージが加熱・冷却されると、材料は膨張・収縮します。設計者は、各材料の膨張率の違いや、繰り返される膨張・収縮によって、配線やチップに不具合が生じないよう、さまざまな材料や配線技術を活用する必要があります。また、はんだボール の疲労特性を理解するとともに、自動車、IoT、航空宇宙などの過酷な環境下での使用に耐えられるパッケージ設計を行うことも求められます。

 

コスト

競争の激しい半導体業界において、コストは重要な決定要因です。バックエンド工程である従来のチップパッケージングは、人手を多く要し、輸送コストも発生する可能性があります。先進的なパッケージングプロセスでは、自動化を活用し、パッケージングを統合テストを含むフロントエンド工程の一部として組み込む必要があります。設計者は、コストを考慮しつつ最適な選択肢を賢く選ぶために、最適化ツールを活用することがよくあります。

先端半導体パッケージング技術の未来

半導体サプライチェーンの全域において、各社は、より高度なパッケージング、性能の向上、コスト削減を盛り込んだロードマップを策定している。Yole Intelligenceによる最近の調査によると、2022年には、920億ドル規模の業界のうち、高度なパッケージングが48%を占めていた。同レポートでは、2028年までに、1,360億ドル規模の業界において、そのシェアが58%に拡大すると予測している。

次世代のパッケージング製造では、電力効率が高く、比較的低価格のパッケージ、よりコンパクトなチップ設計、システムインチップアプリケーションに対する需要増加に対応するために、新しい材料、より大規模な自動化、革新的なテクノロジーを活用する必要があります。

包装エコシステムをめぐる各国や企業間の競争は激化する見通しだ。2023年のCHIPS法には、「国家先端パッケージング製造プログラム」への30億ドルの資金が盛り込まれている。業界をリードするインテル、TSMC、アムコールは2023年、新たな先端パッケージング施設の開発に向け、それぞれ35億ドル、29億ドル、20億ドルの投資を発表した。

製造プラントの技術に加え、エンジニアたちは、設計ワークフローに統合可能な、特定のパッケージング技術をサポートする、より優れたソフトウェアツールを求めていくことになるでしょう。例えば、 Ansys、マイクロソフトとTSMCは最近、2.5D /3D-ICパッケージング向けのクラウドベースの応力シミュレーションツールセットの開発で協力しました。 

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