鳍式场效应晶体管(FinFET )是一种场效应晶体管(场效应晶体管 ),其结构并非完全平面,而是具有一个薄的垂直鳍片。 栅极完全“包裹”了源极与漏极之间形成的沟道的三面。栅极与沟道之间形成的更大表面积,使得对电学状态的控制更加精准,并能降低漏电 ,相比平面场效应晶体管(FET)具有显著优势。采用FinFET技术,可实现对沟道的静电控制大幅提升,从而获得比平面场效应晶体管更优异的电学特性。
FinFET是现代纳米电子半导体器件制造的基础。采用FinFET技术的微芯片于2010年代前半期实现商业化,并成为14纳米、10纳米和7纳米工艺节点的主流栅极设计。通常,单个FinFET 晶体管包含多个鳍片,这些鳍片并排排列且均由同一栅极覆盖,在电路中作为整体工作,从而提高驱动强度和性能。
图1:平面图场效应晶体管
图2: FinFET
诸如FinFET 等高级几何节点带来了重大的设计和制造挑战,这些挑战影响着某些实现工具。特别是,复杂的光刻 多图案化要求涉及:
先进的几何节点将使设计能够在多吉赫兹级以上的运行频率下工作。为了实现这一目标,在整个设计流程中,应借助具有高度可预测性的工具来处理改进的建模、指导和分析工作。下一代设计在规模和性能方面的要求,需要更高的处理能力、增强的多核处理以加快运行速度,以及一个集成的设计环境,以最大限度地提高设计生产力 。 新思科技’ 这款经过代工厂 认证的综合性先进几何解决方案具备以下功能,有助于设计更快推向市场:
要充分发挥FinFET的电学特性,就必须应对复杂的多重光刻工艺带来的挑战光刻 。为此, 新思科技 提供业界范围最广、经硅验证且支持FinFET的EDA解决方案,涵盖工艺开发 、SPICE 设计实现以及IP模块。采用该方案的其他优势 新思科技 进行FinFET 设计的其他优势包括:
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