设计规则检查(DRC )用于验证特定设计是否符合其制造所采用的工艺技术所施加的约束条件。DRC 检查是物理设计流程中不可或缺的一部分,可确保设计满足制造要求,并避免产生缺陷芯片故障 。工艺技术规则由工艺工程师和/或制造工厂提供。
每种工艺技术都有其特定的规则集。随着先进制程节点制造技术的微缩,DRC 规则的数量和复杂程度都会随之增加。以下是一些基本且常见的DRC 规则类型:
| 规则类型 | 描述 |
| 最小宽度 | 导线或金属层的最小允许宽度。 |
| 最小值间距 | 两根导线或特征之间的最小距离。 |
| 最小面积 | 给定布局特征的最小允许面积。 |
| 宽金属点播键 | 关于金属中宽度突变的规则布线 。 |
| 过孔走线对齐不当 | 确保过孔与金属层正确对齐,以确保连通性。 |
| 特殊缺口间距 | 为避免制造缺陷,对缺口周围的间距 设置了限制条件。 |
| 行尾间距 | 行末必须添加间距 ,以防止短路或故障。 |
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