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什么是自动测试设备?

亚当·克朗

2026年7月9日 / 阅读时间 7 分钟

定义

自动测试设备(ATE)是指用于在测试电子设备(从微芯片到复杂的电路板)时发送和测量信号的计算机及电子硬件系统。 

工程师利用这些测试来验证元器件是否按设计正常工作,并借助自动化技术确保测试能够快速、一致地进行,且测试结果得到统一评估。自动测试系统(ATE),有时也被称为自动化测试设备系统,其范围可以从计算机化的数字万用表,到兼具故障诊断功能的多仪器组合系统。自动测试系统与标准 测试系统的区别在于,前者采用高度自动化的方式来评估电子元器件的功能。

半导体测试工程师将正在测试的一个或多个组件称为被测器件(DUT)、被测设备(EUT)或被测单元(UUT)。电子制造业利用自动测试设备(ATE)系统,在制造过程及制造完成后对晶圆、芯片、封装、模块和电路板进行评估。 其目的是在流程中尽早发现问题,在可能的情况下纠正缺陷,并剔除无法正常执行其指定功能操作的元件。 

ATE 系统组件

任何特定的自动测试设备(ATE)所使用的具体装置,取决于被测元件和测试类型。例如,对硅晶圆上的集成电路(IC)进行测试时,会使用连接到电子测量设备上的探针卡,在将晶圆切割成单个元件之前,该探针卡会接触每个微芯片。在线测试系统则用于观察印刷电路板(PCB)上元件的工作状态。

无论配置如何,所有 ATE 系统均包含以下组件:

  • 控制硬件:自动测试设备(ATE)的“大脑”是控制计算机及相关硬件,通常包括工业计算机、电源以及连接信号源和测试仪器的高速通信卡。
  • 软件:计算机 程序可实现整个电子测试过程的自动化。有些系统可能使用专有测试软件语言(如 LabVIEW),而其他系统则使用常见的编程语言,如 C++、Java、Visual Basic 或 Python。
  • 处理器或探针台:一种 用于将被测设备(DUT)移至测试夹具上的机器人系统。对于晶圆,处理器会将晶圆移至探针头下方,以便探针头能够接触晶圆上的每个芯片。
  • 信号源:各种模拟和数字设备均可生成测试图案。控制计算机负责管理波形生成以及向测试探针布线 信号。信号源通常是测试仪器的一部分。
  • 测试仪器:使用计算机控制的测试设备(如数字示波器或数字万用表)来测量每个测试图案产生的输出信号。
  • 测试探针: 输入和输出信号均 通过探针(通常为细小的引脚)传输并进行测量,这些探针与被测设备(DUT)上的导电焊盘建立物理接触。 

测试工程师如何使用自动测试设备

电子系统的自动化测试是设计和制造过程中不可或缺的一部分。设计团队在产品开发 过程中遵循可测性设计 (DFT )的原则,以确定需要哪些测试向量 来验证其设计的硬件。随后,他们指定测试探针的连接位置,并将电路布线至探针点。此外,他们还会定义所需的测试模式,并将这些信息随电路布局一并提供。

测试工程师使用自动测试设备(ATE)系统进行的测试类型取决于元器件的类型和装配的复杂程度,范围从晶圆上的芯片到印刷电路板不等。

一些比较常见的考试类型包括:

  • 晶圆测试:一台 机器人处理器从晶圆盒中取出一个晶圆,然后将其精确地移至测试头下方,使探针与晶圆上的每个芯片接触并进行测试。
  • 封装测试:集成电路组装完毕并封装后,自动测试系统(ATE)会对最终的封装进行测试,以确保所有引线键合、连接器、焊球及其他组件均能正常工作,且在组装过程中未发生任何损坏。
  • 在线测试(ICT)和飞针测试:PCB在 组装完成后进行测试,以验证电路板上的电路,并确保所有连接均能正常工作。
  • 功能测试(FCT):这是 自动测试设备(ATE)测试 中最复杂的一种 ,需要给设备通电,并使用控制软件使其执行测试,这些测试不仅用于验证电路,还用于验证电路的指定行为。
  • 老化测试:这通常是 产品出货前的最后一项测试,这种压力测试一般在最大功率和较高温度下进行。
  • 系统级测试(SLT):可在功能仿真环境中对多台设备并行进行SLT,使这些设备能够进行一段时间的“正常”功能运行。
一种用于PCB模块的飞行探针测试系统

一种用于PCB模块的飞行探针测试系统。

无论测试类型如何,ATE测试通常都遵循以下流程。

  • 位置:将 被测设备(DUT)放置 在测试夹具中,或将探针头移至晶圆上的芯片处。
  • 连接:在多个位置与被测设备(DUT)建立电气连接,或连接至功能接口。
  • 执行:向被测设备(DUT)发送一个称为“测试信号”的电信号。
  • 数据采集:根据需要进行测量。
  • 评估:使用 诊断工具检查输出结果是否存在故障。
  • 分类:识别 哪些集成电路芯片具有期刊 或 ,并指示操作员将被测设备(DUT)移至下一步,将其送入返工流程分级箱 ,或判定该被测设备(DUT)不合格。

ATE系统的优势

企业部署自动测试设备(ATE)系统,以确保其生产的电子系统在整个生命周期内都能按预期运行和发挥性能。由于半导体器件结构极其复杂且产量巨大,人工测试并非一种可行的方法。

采用ATE系统的测试方案最常见的优势包括:

  • 高吞吐量 :在装配线上可以并行布置多套自动测试设备(ATE),同时对数百甚至数千个元器件进行测试。同样,根据自动测试设备(ATE)的资源需求,可以同时对多个被测设备(DUT)进行测试。这有时被称为多站点测试。
  • 提高速度: 利用机器人和软件实现自动化 ,可在生产过程的每个环节提供高速测试能力,从而缩短每个组件的测试时间。
  • 避免人为错误并确保可重复性: 基于自动测试设备(ATE)的测试具有 一致且可重复的特点, 能够有效消除人为错误,并确保每次测试的结果均可重复,从而满足半导体行业采用的严格六西格玛质量标准。
  • 数据记录与分析:与 简单的“通过”或“不通过”判定不同, 自动测试设备(ATE)系统以一种能够实现可追溯性、统计过程控制(SPC)和预测性分析的方式收集数据。
  • 安全性:某些 测试需要使用危险的高电压,或极端的高温和低温。自动化消除了人员接触这些危险的必要性。
  • 成本效益:企业 会在设计和部署自动测试系统(ATE)方面进行大量前期投资,因为这笔成本将分摊到数千甚至数百万个元器件上。此外,自动测试系统的模块化和可编程特性,也避免了购买专用测试仪所产生的高昂成本。 

各行业中使用自动测试设备进行测试

由于如今几乎所有行业都使用电子产品,因此大多数行业都会采用某种形式的自动测试设备(ATE)系统来验证元器件。在那些要求产品在整个生命周期内都具备可靠性和性能的行业中,ATE 已成为不可或缺的工具。

以下行业是其产品中ATE系统最重要的用户:

  • 半导体行业:在 芯片层面,半导体行业利用自动测试设备(ATE)系统,在保持吞吐量 的同时降低测试成本。其主要目标是在晶圆上对芯片进行分选,并验证封装后的器件是否按预期工作,同时最大限度地提高良率。
  • 汽车行业: 随着电子设备数量的不断增加,汽车 系统中电子化程度持续提升。这些设备包括电子控制单元(ECU)、自动驾驶系统、电池管理系统以及日益增多的传感器。上述每一套系统都必须符合严格的安全标准,并通过基于自动测试设备(ATE)的测试进行验证。
  • 航空航天与国防: 飞机、航天器及武器系统中的电子系统对 任务至关重要,必须在极端条件下操作 。诸如卫星飞行硬件、航空电子 系统、电传操纵系统以及众多传感器等电子系统,在进入飞行阶段之前必须经过测试,以满足该行业严格的安全和可靠性标准。
  • 电信: 电信行业 在向全球或智能手表与智能手机之间发送和接收信号时,高度依赖电子元件。该行业的自动化测试必须能够处理数字和模拟电路以及广播信号。
  • 消费电子产品: 消费电子行业产品种类 繁多且上市时间 (产品生命周期)短,因此必须采用自动测试设备(ATE)系统进行测试,以降低生产成本和保修费用。 

仿真在电子设计自动化中的作用

在设计阶段,工程师会使用各种各样的软件工具来设计电子元件、开发和验证测试模式,以及设计和优化测试设备。随着自动测试设备(ATE)的使用日益广泛,测试工程师们发现,拥有一个支持测试的统一电子设计自动化(EDA)工作流不仅是一种优势,更是实现成本、质量和上市时间 目标的必要条件。

新思科技 TestMAX™ 产品系列是可测性设计 综合解决方案的一个典型代表。TestMAX 软件提供了一个高度可配置的测试自动化工作流,支持多种组件,并能使测试与物理、时序和功耗要求保持一致。该 新思科技 TestMAX产品系列包含用于模拟故障 仿真、分层自动测试模式生成(ATPG )压缩、逻辑内置自测试(BIST )、存储器自测试与修复、基于物理特性的诊断以及可测试性分析的工具。这些功能相结合,使工程师能够应对当今快速发展的行业中所面临的最严峻的测试挑战。

工程师们还借助其他EDA工具来提高其组件测试的效率和可靠性。诸如新思科技 SHS IP软件和新思科技 SMS IP软件等设计元素可集成到电路设计中,从而内置测试处理器和内存所需的内容。

许多测试形式都需要通过PCIe和USB接口传输高速、高带宽的信号。工程师们使用类似于新思科技 SLM高速访问与测试(HSAT)的解决方案,配合 新思科技 TestMAX ALE 软件配合使用,利用标准 的 PCIe 和 USB 等接口,对芯片封装(尤其是系统级芯片(SoC)封装)进行数据读写、调试和监控,从而避免了使用大量接口和测试引脚的必要。 

此外,还会使用新思科技 的PrimeSim软件等仿真工具,在投产前进行虚拟测试。设计团队还会采用Ansys 的Icepak电子设备散热仿真软件、Ansys 的Sherlock电子设备可靠性预测软件以及Ansys 的机械结构有限元分析软件等多物理场仿真产品,对测试环境进行建模,以确保被测设备(DUT)不会因搬运、探针引起的机械应力,或在施加大功率信号时过热而受损。

在构建强大的ATE仿真工具集时,另一个重要因素是与广泛使用的ATE平台进行集成,包括泰瑞达(Teradyne)和爱德万测试(Advantest)等厂商的平台。这种集成关系有助于确保在设计阶段开发的测试内容与测试机架构相匹配,并在生产测试中得到一致且有效的应用。

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