CATS

CATS

マスクデータ・プレパレーションのテクノロジをリード

CATS®は、IC、MEMS、TFT-LCD、TFH、フォトニクス、バイオチップなどの製品のパターンの生成と製造に使用する複雑な設計データを電子ビームおよびレーザー機器向けのマシン語命令に変換する、拡張性と柔軟性に優れたソフトウェア・アプリケーションです。

CATSは、実質的に世界中の全てのフォトマスク製造施設に導入されており、マスク製造、検査、測長、およびウェハーへの直描におけるデファクト・スタンダードとなっています。 

アプリケーション

  • 近接効果補正
    CATSは、電子ビームや光の近接効果の補正を提供します。
  • 製造ルール・チェック
    電子ビームとレーザーの露光ツールに加え、あらゆる主要検査ツールをサポートする唯一のソフトウェア・パッケージです。
  • 測長マーキング
    ジョブデック情報と電子ビーム・パターン・ファイル・データを利用するCATS測長マーキング・オプションは、独自のグラフィックとコマンド駆動型環境を提供します。
  • 検査データ・プレパレーション
    CATSは、多種多様な電子ビーム露光装置と主要なフォトマスク検査装置の両方をサポートする唯一の市販ソフトウェア・パッケージです。
  • 分散処理
    CATSは、非常にスケーラブルで費用効果の高いマスク・データ・プレパレーションを提供します。