Mask Data Prep 

卓越的光罩制造 

CATS用于半导体、TFT、HDD、MEMS 以及光电光罩和直接写入设备数据准备的光罩数据准备 (MDP) 软件是具有高扩展性、易于使用且功能多样的产品套件,能够为数据切分、数据验证、MRC、PEC、jobdeck 处理、层操作和数据大小调整提供数据准备模块。CATS 为光罩流片团队提供与 Proteus 的无缝扩展。

  • 工具
 
  • CATS
  • 尽量降低周转时间同时提高当今高端光罩的质量more

 
CATS™ 是最先进的功能齐全的数据准备软件,可用于半导体光罩制造。
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提供最高的吞吐量来进行光罩规则检查和模式匹配。支持在晶圆厂早期阶段的MRC和在光罩厂最后阶段的MRC