框架

Sentaurus Workbench

Sentaurus Workbench 是一个完整的图形化操作环境,用于创建、管理、执行和分析 TCAD 仿真。其直观的图形化用户界面让用户能够高效导航并自动处理与运行 TCAD 仿真相关的典型任务(如管理信息流),包括预处理用户输入文件、对项目进行参数化、设置和执行工具实例以及通过合适的查看器将结果进行可视化显示。使用数学表达式和逻辑表达式可动态地预处理仿真输入。

Sentaurus Workbench 包含一个命令和光刻版图接口,用于创建、编辑和组织工艺流程。较高层次的架构支持用户定义的库,这些库可映射晶圆制造工艺模块或电学测试过程。

利用 Sentaurus Workbench,用户可自动生成实验设计分组并在计算机网络中分配仿真作业。

优势

  • 对仿真项目高效而精简的组织
  • 通过最少的用户交互来自动处理并简化大规模仿真
  • 对工艺仿真进行方便的层次表示,并支持工艺菜单的库和层次资源库
  • 对仿真的全面参数化
  • 易于实施的优化和灵敏度分析
  • 对 TCAD 结构和仿真结果的高级 1D、2D 和 3D 可视化显示

Sentaurus Visual

Sentaurus Visual 是先进的 TCAD 数据可视化工具。它功能众多,可用于直角坐标数据和 2D/3D TCAD 结构的绘图和交互式操纵。

优势

  • 通过友好的图形化用户界面实现先进的可视化
  • 方便的数据操作和可视化
  • 强大的脚本语言
  • 高质量打印输出