框架

Sentaurus Workbench

Sentaurus Workbench 是一个完整的图形化操作环境，用于创建、管理、执行和分析 TCAD 仿真。其直观的图形化用户界面让用户能够高效导航并自动处理与运行 TCAD 仿真相关的典型任务（如管理信息流），包括预处理用户输入文件、对项目进行参数化、设置和执行工具实例以及通过合适的查看器将结果进行可视化显示。使用数学表达式和逻辑表达式可动态地预处理仿真输入。

Sentaurus Workbench 包含一个命令和光刻版图接口，用于创建、编辑和组织工艺流程。较高层次的架构支持用户定义的库，这些库可映射晶圆制造工艺模块或电学测试过程。

利用 Sentaurus Workbench，用户可自动生成实验设计分组并在计算机网络中分配仿真作业。