Ранняя разработка процессов. Передовая литография. Управление выходом годных.

Приборно-технологическое моделирование является основой для поколений чипов и инноваций в области электроники. Основываясь на отраслевых стандартах, наши инструменты проверены в производстве как на установленных, так и на новых технологических нормах вплоть до 5 нм и ниже. Наши инструменты находят компромисс между скоростью, площадью, мощностью, тестами и выходом годных.

Ведущие в отрасли инструменты TCAD для моделирования процессов и приборов

  • Разработка и оптимизация технологических процессов и приборов
  • Выполнение разделения запусков симуляции для сокращения затрат, длительных тестовых прогонов по слоям при разработке нового устройства
  • Изучение пространства параметров процесса и альтернативы разработки проектов
  • Оптимизация производительности чипа с использованием паразитных параметров, полученных из инструментов моделирования и анализа межсоединений

Программное обеспечение CATS® для подготовки данных для производства фотошаблонов

  • Перевод сложных данных проекта в машиночитаемые инструкции для генерации шаблонов и их производства
  • Самое высокопроизводительное решение для проверки правил и соответствия фотошаблона
  • Достижение требований к качеству и стоимости фотошаблона посредством точной и исчерпывающей проверки
  • Усиление базовой технологии проектирования, которая уникально использует производственную информацию в процессе разработки

Proteus™ OPC для усовершенствованного литографического синтеза фотошаблона

  • Выполнение оптической коррекции всего проекта, использование обратных литографических техник и выполнение проверок и анализа данных
  • Увеличение точности фотошаблона и максимизация производственных возможностей
  • Определение традиционных технологических ошибок перед тем, как отправить проект на производство
  • Усиление точного маршрута моделирования Sentaurus™ в производственной среде

 Промышленный стандарт для управления и оптимизации выхода годных

  • Сбор данных, связанных с выходом годных из разных источников в единый банк данных с помощью инструмента Yield Explorer®
  • Быстрое определение инструментов и процессов, которые влияют на выход годных с помощью решения Odyssey для управления данными о дефектах
  • Обеспечение более тесного сотрудничества между группами разработчиков продуктов/проектов и лабораториями FA с инструментом Avalon
  • Внедрение полного решения для производства пластин с единой базой данных с помощью инструмента YieldManager®

Инструменты