Ранняя разработка процессов. Передовая литография. Управление выходом годных.
Приборно-технологическое моделирование является основой для поколений чипов и инноваций в области электроники. Основываясь на отраслевых стандартах, наши инструменты проверены в производстве как на установленных, так и на новых технологических нормах вплоть до 5 нм и ниже. Наши инструменты находят компромисс между скоростью, площадью, мощностью, тестами и выходом годных.
Ведущие в отрасли инструменты TCAD для моделирования процессов и приборов
- Разработка и оптимизация технологических процессов и приборов
- Выполнение разделения запусков симуляции для сокращения затрат, длительных тестовых прогонов по слоям при разработке нового устройства
- Изучение пространства параметров процесса и альтернативы разработки проектов
- Оптимизация производительности чипа с использованием паразитных параметров, полученных из инструментов моделирования и анализа межсоединений
Программное обеспечение CATS® для подготовки данных для производства фотошаблонов
- Перевод сложных данных проекта в машиночитаемые инструкции для генерации шаблонов и их производства
- Самое высокопроизводительное решение для проверки правил и соответствия фотошаблона
- Достижение требований к качеству и стоимости фотошаблона посредством точной и исчерпывающей проверки
- Усиление базовой технологии проектирования, которая уникально использует производственную информацию в процессе разработки
Proteus™ OPC для усовершенствованного литографического синтеза фотошаблона
- Выполнение оптической коррекции всего проекта, использование обратных литографических техник и выполнение проверок и анализа данных
- Увеличение точности фотошаблона и максимизация производственных возможностей
- Определение традиционных технологических ошибок перед тем, как отправить проект на производство
- Усиление точного маршрута моделирования Sentaurus™ в производственной среде
Промышленный стандарт для управления и оптимизации выхода годных
- Сбор данных, связанных с выходом годных из разных источников в единый банк данных с помощью инструмента Yield Explorer®
- Быстрое определение инструментов и процессов, которые влияют на выход годных с помощью решения Odyssey для управления данными о дефектах
- Обеспечение более тесного сотрудничества между группами разработчиков продуктов/проектов и лабораториями FA с инструментом Avalon
- Внедрение полного решения для производства пластин с единой базой данных с помощью инструмента YieldManager®