Camelot 

次世代のCADナビゲーションとファブ解析 

概要
Camelot™ソフトウェア・システムは故障解析、設計デバッグ、低歩留り解析のための次世代CADナビゲーションの業界標準です。 Camelotは、50種類以上の解析機器やテスト機器に対応するコンピュータ・インターフェイスとナビゲーション機能を備えており、設計および半導体の故障解析(FA)ラボの装置や人的リソースを最適化します。 Camelotのアプリケーション・ツール、機能、オプション、ネットワーク機能は完全な統合化されたシステムを提供し、これにより検査、テスト、解析ジョブの迅速かつ効率的な調査と解決が可能になります。 さらに、Camelotを使うことにより製品グループと設計グループがより緊密に連携して故障解析を進められるようになり、歩留りを大きく改善し、製品を市場へ投入するまでの期間を劇的に短縮することが可能になります。

Camelotでは、あらゆる主要LVSパッケージや多くのユーザー独自フォーマットを取り込むことができ、視覚的表示を利用して回路の加工、回転、階層展開、検索、リンクなどの操作を容易に行うことができます。

CamelotはKnights Technologyが開発した故障解析製品群の一部です。 Knightsの製品ラインは2012年にシノプシスがマグマ社を買収した際にシノプシスによって取得されました。

主な特長
  • 設計開発期間を短縮し、市場投入までを加速
  • あらゆるタイプのハードウェアとのインターフェイスに対応した一般的なソフトウェア・プラットフォームを提供することにより、ファブの生産性を向上
  • あらゆる主要LVS(layout versus schematic)ツールをサポート
  • 故障解析に必要不可欠な基幹情報データベースを提供
  • 潜在的な故障を追跡し、キラー欠陥の原因を特定するために重要なアドオン機能を継続的に拡張
  • Linux、Solaris、Windows 2000、Windows NTまたはXPオペレーティング・システムを使用するユーザーに対応するクライアント/サーバ・ソリューション
  • 既存のMerlin™データベースや変換ツールとシームレスに統合
  • レイアウト、ネットリスト、スケマティック・データの変換を単一のツールで行い、各データ・エンティティ間のクロスマッピング・リンクを確立。 3つのドメイン(レイアウト、ネットリスト、スケマティック)別に正確な場所を同時に表示することで、デバイスのノード間のクロスマッピングを行うことができるため、Camelotを使って問題解決を迅速化することが可能

図1: レイアウト、スケマティック、ファブ欠陥データを統合するCamelot CADナビゲーション・システム
図1: レイアウト、スケマティック、ファブ欠陥データを統合するCamelot CADナビゲーション・システム

あらゆるCAD設計データのサポート
シノプシスは、あらゆるCAD設計データの統合を行うソフトウェア・ソリューションを牽引するプロバイダとして、実績を積み重ねています。 Camelotは検証システムからあらゆるEDAツールや設計データを読み込むことができ、多くのユーザー固有フォーマットを読み取り可能な包括的パッケージです。 Camelotデータベースはあらゆる主要LVSパッケージとのインターフェイスを有するよう設計されています。 これまで多くの場合、設計の検証にはDraculaが使用されていましたが、 昨今はEDA開発者の数が増加し、検証パッケージの選択肢も増えています。こうしたあらゆるツールをサポートしているのはシノプシスだけです。
  • ネットリスト変換: SPICE、EDIF、TEGAS、Verilog、Hercules
  • レイアウト変換: GDSII、CIF、Dracula
  • LVS変換: ケイデンス(Dracula、DIVA、Assura)、メンター・グラフィックス(CheckMate、Calibre)、シノプシス(Hercules)

Camelotユーザーが最も重視しているのはデータアクセスおよびデータベースの機能です。 CamelotはFAラボ・チームと設計デバッグ・チームの絶えず進化するニーズに対応するために最適なソリューションです。

データの一貫性確保は、シノプシスのCADナビゲーション・ソフトウェアの主な機能の1つです。 内部データベース構造の独自設計により、古いデータベースの可読性を確保します。 この機能はあらゆる故障解析、特に自動車産業のQAおよび製造部門において不可欠です。

図2: CamelotのSchemViewとNetViewで回路図内部の容易なナビゲーションが可能
図2: CamelotのSchemViewとNetViewで回路図内部の容易なナビゲーションが可能

致命欠陥解析機能を提供
ADナビゲーションとデータベースの機能に加え、Camelotの解析機能もFAラボに不可欠な機能になっています。 潜在的な不具合を追跡し、故障の原因とキラー欠陥の起源を特定するためには、さまざまな表示オプションが不可欠です。 Camelotには、FAエンジニアが新しいプロセスで製造したチップをデバッグする際に有用な、特殊なスケマティック機能とレイアウトのアドオン機能があります。 一般的なソフトウェア・オプションを以下に示します。

図3: Defect Waver Mapで欠陥をピンポイントで精査することが可能
図3: Defect Waver Mapで欠陥をピンポイントで精査することが可能
図4: 設計、ファブ、ラボ間の連携を可能にするK-Edit
図4: 設計、ファブ、ラボ間の連携を可能にするK-Edit
図5: ネットリストからスケマティックを作成するI-Schem
図5: ネットリストからスケマティックを作成するI-Schem
図6: メモリ・デバイスのビット・アドレスの物理的位置を特定するK-Bitmap
図6: メモリ・デバイスのビット・アドレスの物理的位置を特定するK-Bitmap

Defect Wafer Mapでは、欠陥検査データとデバイスのCAD設計データを欠陥座標を介して統合し、解析装置のステージをナビゲートして、欠陥をピンポイントで精査およびキャラクタライズすることが可能になります。 Camelotは欠陥をサイズ、位置、クラス、レイアウト座標で分類することができ、ユーザー独自のカスタムのウェハー・マップを定義することができます。 さらに、ユーザーは欠陥を分類し、イメージデータを加えて新しい情報を欠陥ファイルに書き出すことも可能です。

SchemViewでは、チップ・ロジックの可視化によって潜在的な不具合を追跡できます。 SchemViewは、デバイスのレイアウトとネットリストにクロスマップすることで、チップの故障起源と原因の特定を容易にします。 デザイン全体をセル階層形式で表示し、トランジスタレベルまでの詳細な表示も行います。 K-Bitmapはメモリ・デバイスのビット・アドレスの物理的位置を特定します。

I-Schem (Interactive Schematic)は、ネットリストからネット優先形式でスケマティックを作成し、フォワード/バックワード・トラッキングによる故障箇所の追跡を可能にします。 Add DriverやAdd Input Coneなどの機能を利用して、スキャンチェーン内の診断結果を迅速に解析および検証することができます。

K-Bitmapは、故障したメモリセルの物理的な位置を特定してメモリチップを解析する場合の、解析機器のCADナビゲーションを可能にします。 論理アドレスまたは行と列の座標を物理位置に変換することにより、画面上でカウントする面倒な作業が解消されます。

図7: 3D Small-Area Analysis(3D微小領域解析)により回路の故障箇所の特定にかかる時間を短縮
図7: 3D Small-Area Analysis(3D微小領域解析)により回路の故障箇所の特定にかかる時間を短縮
図8: 発光解析での検出領域内のネット数を表示するHot-Spot Analyzer(ホットスポット・アナライザ)
図8: 発光解析での検出領域内のネット数を表示するHot-Spot Analyzer(ホットスポット・アナライザ)
図9: トレースを容易にするOn-Line Search Analyzer(オンライン検索アナライザ)
図9: トレースを容易にするOn-Line Search Analyzer(オンライン検索アナライザ)
図10: 問題が疑われるビアまたはメタルトレースを特定するPassive Voltage Contrast(PVC)Checker
図10: 問題が疑われるビアまたはメタルトレースを特定するPassive Voltage Contrast(PVC)Checker
図11: Camelotのオープン・アーキテクチャはシノプシスのYieldManager(左)およびLogicMapとの統合が可能
図11: Camelotのオープン・アーキテクチャはシノプシスのYieldManager(左)およびLogicMapとの統合が可能

3D Small-Area Analysisオプションは、3次元断面図表示機能を備えており、回路の故障箇所の特定を迅速化し、IC製造の歩留り改善を加速します。

Hot-Spot Analyzerオプションでは、ユーザーがホットスポット領域(発光スポット)に対応するレイアウト領域を描画することを可能にし、重要なネットを検出できます。 各発光スポット領域のネット数と各ネットの発光スポット数が表示されます。

On-Line Search Analyzerオプションでは、ダイ内での微小領域の固有のポリゴンフィーチャ、反復フィーチャ、フィーチャの欠落を検索できます。 FIB対応領域、リピータ、パターン忠実度、リソグラフィなどの多様な用途に対応します。

Passive Voltage Contrast Checker(PVC)オプションは、回路の導電性を迅速かつ正確に検証し、ビアまたはメタルトレースの故障が疑われる箇所を特定するための詳細情報を提供します。

図12: Camelotサーバ・ソリューション
図12: Camelotサーバ・ソリューション

Camelotサーバ・ソリューション
シノプシスのCamelotサーバ・ソリューションでは、チップの故障解析および設計修正のための社内規模のコンピューティング環境の利点を最大限に生かすことができます。 Camelotは、LANおよびWANに接続してシームレスな統合とデータベースの共有を実現するクライアント/サーバ型のオープン・アーキテクチャ・システムです。 ファブおよびその他の場所における機器を会社レベルで統合し、異なる機器を使用してウェハーの同一箇所を、または同じチップ設計を使用した異なるラインのウェハーの同一箇所を表示、修正、キャラクタライズ、テストすることが可能です。

故障解析ツール・ドライバの包括的な最新ライブラリ
amelotは50種類以上の機器に対応するナビゲーション機能を備えています。 シノプシスはあらゆるタイプのテストおよび解析装置のドライバをサポートすることに力を入れており、市場に登場したばかりの新しいツール、および既存ツールの次世代バージョンに対応するドライバ・インターフェイスの開発も続けていきます。

Camelotが現在サポートしているツール
  • 解析用プローブ・ステーション
  • 原子間力顕微鏡
  • 電子ビーム・プローバ
  • IRイメージング
  • メカニカルステージ・コントローラ
  • エミッション顕微鏡
  • マイクロ分析システム
  • FIBワークステーション
  • レーザプローブ
  • LSM
  • EDA LVS
  • マイクロケミカルレーザ
  • OBIC装置
  • 光学レビュー装置
  • SEMツール