Sentaurus Process 

先進的な1D、2D、3Dプロセス・シミュレータ 

概要
Sentaurus Processはシリコン半導体プロセス・テクノロジの開発および最適化のための高度な1D、2D、3Dプロセス・シミュレータです。 Sentaurus Processは、現在および将来のプロセス・テクノロジの課題に対応する新世代のプロセス・シミュレータです。 Sentaurus Processは装置ベンダから入手したデータでキャリブレーションされたデフォルト・パラメータを含む一連の先進的なプロセス・モデルを備え、ナノスケールCMOSから大規模な高耐圧パワー・デバイスまで、幅広いテクノロジのシミュレーションに対応する予測性の高いフレームワークを提供します。 Sentaurus Processは、プロセス、デバイス、システムの多次元シミュレーションに対応する包括的なコアTCAD製品群の一部として、高性能なユーザー・インターフェイスに組み込まれています。

主な特長
  • 包括的な物理ベースのプロセス・モデリング機能により、広範囲なテクノロジの試作、開発、最適化を短期間で実現
  • 応力履歴を有するプロセス構造の熱応力と機械的応力を最適化することにより、デバイス性能を向上
  • 1D、2D、3D全ての次元で同一プロセス・フロー記述、モデルが使用可能なモデリング機能により、高度な物理現象に対する洞察が可能