Odyssey 

针对晶圆制造且以生产为中心的良率管理 

Synopsys 的 Odyssey 产品系列包括多个组成部分,可满足半导体晶圆制造的特殊要求。 Odyssey Defect 是经生产验证的缺陷数据管理解决方案,全球逾 35 个制造工厂选择了此方案。 Odyssey 也是一个完整的在线良率管理系统,可分析半导体生产和测试数据,从而快速地找出影响良率的设备和生产过程。

 

Synopsys 的 Odyssey 产品系列包括多个组成部分,可满足当前现代半导体晶圆制造的要求。 Odyssey Defect 是经生产验证的缺陷数据管理解决方案,已成功帮助全球逾 35 个制造工厂管理其缺陷问题。 Odyssey Defect 拥有超过 14 年的发展历史,可提供实时批量处置、SPC 提醒及一套完整的缺陷分析工具,来帮助制造工程师们解决随机和系统的良率问题。 作为一个真正的全天候运行系统,Odyssey Defect 可有效、可靠地交付结果,运用错误修正过程,为客户保障最大化的使用时间。 Odyssey Defect 有着开放和厂商中立的架构,其全面丰富的交互式图表、晶圆图和报告功能可支持所有检查、复审及分类工具。

  • 简单易用的Odyssey 用户界面,可帮助生产人员实现较高的生产率
  • 工具中立,平等支持所有检查和复审工具 使并行缺陷分析实现自动化,以缩短诊断周期时间
  • 业内顶尖的功能,包括易于创建和维护的分析模板,这些模板可在整个晶圆厂内共享使用,并且可以由晶圆厂的良率变化触发
  • 基于服务器的实时缺陷根源分析 (DSA),SPC 功能及自动晶圆取样和输出(处置)
  • 交互式电子表格和图表可在最短时间内帮助追踪到问题的根源
  • 稳定的 ORACLE 数据库及高度可靠的产品,无需对全天候运营晶圆厂进行太多维护支持
  • 集成的自动化功能,可使用户更快地进行合作,在几分钟(而非几天!)之内就完成根本原因的分析
  • 现已支持在 LINUX 上使用。

Odyssey 图 2

Odyssey YMS 是一套完整的良率管理解决方案,综合了缺陷、bin 排序、bit 失效(内存)、metrology、parametric 和 WIP (MES) 模块,并可以进行模块间的相关性分析。

  • 获取良率数据,并利用 WIP 历史追踪到问题设备
  • 通过叠加缺陷数据和计算损失来调查存储器位元错误,然后将储存的损失率运用到流水生产数据中来预计最后良率
  • 使用 WAT 或 最终测试参数数据来映射晶圆与量上的差异
  • 数据挖掘功能可快速识别最有可能的良率问题

Odyssey YMS 可整套购买,也可分单独模块购买。 因此,不论对于小型的“传统产品”晶圆厂,还是对于需要连续获取实时良率影响数据的全 300 mm 晶圆厂来说,都是一个理想的选择。

  • 支持缺陷、bin 排序、bit、parameteric、metrology 和 WIP 数据源
  • 适应所有数据类型的所有编号、命名和定位惯例
  • 稳定的 ORACLE 数据库及高度可靠的产品,无需对全天候运营晶圆厂进行太多维护支持
  • 允许多种数据类型之间保持一致性,从而在出现关键良率问题时,缩短成果转化时间
  • 完整的交互式图表、映射、和可视化工具,用以帮助分析
  • 简单易用的重复分析模板,可在整个晶圆厂内共享使用,并会自动触发
  • 可直接导出到 Excel、PowerPoint 和公司内联网,通过每日分享关键生产数据来加强良率问题交流

Odyssey 图 3

可选 Odyssey 模块
附加模块可通过将多种不同的数据类型实现相互关联来确定生产失败的根本原因,整合和管理关键生产数据,以提高良率和生产效率。 这些模块包括数个强大的分析引擎,包括 Abacus 位元特征引擎、用于自动缺陷特征检测和分类的 DSSA Sentry、StatTool 数据分析和制图工具包,以及一个实时损失率引擎(在载入时填充数据库)。 其他可用 Odyssey 模块包括:

  • 25XX™ 消除器:将缺陷检测工具直接连接至 Odyssey-Defect,无需 25XX 系统
  • Process2 消除器:多位置转发功能和 AutoDSA,无需 Process2 软件即可使用 Odyssey-Defect

Odyssey 图 4