Camelot 

下一代 CAD 导航和 fab 分析 
Camelot™ 软件系统是针对失效分析、设计调试和低良率分析的下一代 CAD 导航标准。 Camelot 为 50 多种不同分析和测试设备提供计算机接口和导航功能,实现了对设计设备和半导体失效分析 (FA) 实验室人力资源的优化。 其应用工具、功能、选项和网络功能,为快速有效的检查、测试和分析工作的调查和解决提供了完整集成系统。 此外,Camelot 利用 FA 实验室,实现了产品和设计团队间的紧密合作,从而大大缩短了良率达成和上市时间。

Camelot 可以从所有 关键LVS数据包和若干用户专有格式中导入 CAD 设计数据,并提供可轻松操作、旋转、分解、搜索和联接的可视化电路图表示形式。

Camelot 是最初由 Knights Technology 开发的故障分析产品组合中的一部分。 2012 年,Synopsys 收购了 Magma,Knights 的产品线作为收购的一部分也被纳入 Synopsys 旗下。

优势
  • 缩短设计周期,加快上市时间
  • 为各种类型硬件的接口提供了通用的软件平台,提高圆晶厂生产效率
  • 支持所有主要的电路布局验证 (LVS) 工具
  • 为 FA 提供重要的内核信息数据库
  • 提供不断丰富的附加功能,对跟踪潜在故障和确定致命缺陷起源具有至关重要的作用
  • 为 Linux、Solaris、Windows 2000、Windows NT 或 XP 操作系统的用户提供客户端/服务器解决方案
  • 与现有的 Merlin™ 数据库和转换工具实现无缝集成
  • 使用一种工具即可对版图、网表和电路图数据进行转换,还可以在数据实体间建立交叉映射连接。 Camelot 利用器件节点间的交叉映射加快问题解决速度,因此可以通过三个角度(版图、网表和电路图)同步查看问题的确切位置

Camelot CAD 导航系统集成了布线、电路图和圆晶厂缺陷数据
图 1: Camelot CAD 导航系统集成了版图、电路图和圆晶厂缺陷数据

支持所有 CAD 设计数据
Synopsys 为客户提供连接所有 CAD 设计数据的软件解决方案,并致力于在该领域中保持领先地位。 Camelot 是从验证系统和若干用户专有格式中读取所有 EDA 工具和设计数据而组成的综合数据包。 Camelot 数据库可与所有关键LVS数据包连接。 过去,许多公司在设计验证中使用 Dracula。 现在,他们有了更多的 EDA 开发商和验证数据包选择;Synopsys 是唯一一家支持所有上述选择的公司。
  • 网表转换: SPICE、EDIF、TEGAS、Verilog、Hercules
  • 布线转换: GDSII、CIF、Dracula
  • LVS 转换: Cadence(Dracula、DIVA、Assura)、Mentor Graphics(CheckMate、Calibre)、Synopsys (Hercules)

Camelot 用户可最优先使用数据访问和数据库功能。 Camelot 提供最佳解决方案,以满足 FA 实验室和设计调试团队不断扩张的需求。

确保数据一致性是 Synopsys CAD 导航软件的主要功能之一。 内部数据库结构的独特设计保证数据库经久耐用,几十年后仍然可读。 这是所有失效分析、QA 和制造公司,特别在自动化行业,必不可少的功能。

Camelot SchemView 和 NetView
图 2: Camelot SchemView 和 NetView 提供了一种在电路图内部进行导航的简便方法

提供关键的分析功能
除了 CAD 导航和数据库功能,Camelot 的分析功能对 FA 实验室来说同样是不可或缺的。 在跟踪潜在故障和确定致命缺陷起源方面,不同的观察选项极其重要。 Camelot 提供了特殊的电路图功能和版图附加功能。当 FA 工程师对使用新工艺制造出的芯片进行调试时,就会发现这些功能的巨大价值。 下表详细列出了应用最广泛的若干软件选项。

缺陷波形地图
图 3: 缺陷波形示意图为进一步检查准确定位缺陷
K-Edit
图 4: 利用 K-Edit,实现设计、圆晶厂和实验室间的通力合作
I-Schem
图 5: I-Schem 可从网表中创建电路图
K-Bitmap
图 6: K-Bitmap 可识别存储器器件中位地址的物理位置

缺陷波形示意图利用缺陷坐标将缺陷检查数据与器件 CAD 设计相集成,实现设备阶段的导航并为进一步检查和特性表征准确定位缺陷。 Camelot 根据缺陷的大小、位置或类别以及版图位置对缺陷进行分类,并允许用户对自定义圆晶图进行定义。 此外,用户还可以对缺陷分类、附加图像,并向缺陷文件中写入更新信息。

SchemView 通过芯片逻辑可视化对潜在故障进行跟踪。 SchemView 已被交叉映射至器件版图和网表,可以帮助确定芯片故障的原因和起源。 整个设计以单元层级格式呈现,可以下拉至晶体管级。 K-Bitmap 可识别存储器器件中位地址的物理位置。

I-Schem(交互式电路图)可以从网表中创建面向网络格式的电路图,可以通过追踪和回溯对缺陷进行定位。 添加驱动器或添加输入锥等功能允许在扫描链中快速分析和验证诊断结果。

K-Bitmap 通过确认失败存储器单元的物理位置进行存储器芯片分析时,支持设备 CAD 导航。 K-Bitmap 将逻辑地址或行和列的坐标转换成物理位置,以此减少繁琐的屏幕计数。

3D 小面积分析
图 7: 3D 小面积分析可更快定位电路故障
热点分析器
图 8: 热点分析器展示出热点中的网络数量
在线搜索分析器
图 9: 在线搜索分析器查找可轻松访问的跟踪
被动式电压对比 (PVC) 检查工具
图 10: 被动式电压对比 (PVC) 检查工具可确认可疑通孔或金属踪迹
Camelot 的开放式构架与 Synopsys YieldManager(左)及 LogicMap 集成
图 11: Camelot 的开放式构架与
Synopsys YieldManager(左)及 LogicMap 集成

3D 小面积分析选项为 FA 工程师提供了构建三维截面的能力,可以更快定位电路故障,加速提高 IC 制造的良率。

热点分析器选项允许用户在版图中划分区域。这些区域与热点区域(辐射点)相对应,以检测关键网络。 热点分析器将统计并显示每个热点区域中的网络数量和每个网络中的热点数量。

在线搜索分析器选项允许用户在芯片中小面积搜索独特多边形功能、重复功能或缺少的功能。 应用包括但不限于:FIB 可用区域、中继器、模式保真度和光刻应用。

被动式电压对比 (PVC) 检查工具选项快速、准确地验证电路导电性是否完整,并提供用于确认路线或金属踪迹中的可疑故障的详细信息。

Camelot 服务器解决方案
图 12: Camelot 服务器解决方案

Camelot 服务器解决方案
Synopsys 的 Camelot 服务器解决方案为芯片 FA 和设计修改带来了企业范围的所有计算优势。 Camelot 是一个客户端/服务器、开放式构架系统,它将本地网络和广域网中的用户连接到一起,实现无缝集成和数据库共享。 将企业中圆晶厂和其他场所的仪器进行整合,这样就可以利用不同仪器对相同的圆晶位置进行查看、修改、特性表征和测试,或利用相同芯片设计在不同设备中对相同的圆晶位置进行查看、修改、特性表征和测试。

完整、最新的 FA 工具驱动库
Camelot 为 50 余种设备提供导航。 Synopsys 坚持不懈地为所有类型的测试和分析仪器提供驱动支持,并将坚定不移地为新上市工具和现有工具的下一代升级产品开发驱动接口。

Camelot 当前支持的工具
  • 分析探针台
  • 原子力显微镜
  • E-Beam 探针
  • IR 成像
  • 机械台控制器
  • 微光显微镜
  • 微分析系统
  • FIB 工作站
  • 激光探针
  • LSM
  • EDA LVS
  • 微量化学激光
  • OBIC 仪器
  • 光学审查
  • SEM 工具