Proteus MetroKit 

高效的计量接口 

概览
Proteus MetroKit 是一个工具集,用于促进并自动化使用计量工具的接口流程,从而最小化工具的接口时间并最大化工程效率。 Proteus MetroKit 具备以下功能,可为建模生成测试向量,自动创建计量流程收集经验数据,重格式化和分析经验数据供其他 Proteus 应用使用,创建量规文件用于模型调整。 本产品是 IC WorkBench Plus (ICWB Plus) 和 Proteus WorkBench (PWB) 的升级方案。

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计量工具时间和工程时间都远不够商品级别。 Synopsys 意识到了这一点,并且开发了工具集,以最高效率地使用二者。 MetroKit 的扫描电子显微镜 (SEM) 流程创建工具帮助您离线编程 CD-SEM,消除生产中不必要的停机时间。

避免代价高昂的人为错误,通过 SEM 数据分析和转换流程自动化节省时间。 提供 SEM 结果数据库和建模工具的无缝链接。 从SEM 数据中剔除出异常值并自动转换成模型生成所需的格式,然后传递给 OPC 模型校准工具 ProGen 和 ProGenPLUS,和/或 Synopsys Sentaurus 光刻仿真器。 该流程可以帮助提高数据质量,减少生成精确模型所需的时间。

测试向量生成器 (TPG)
TPG 是一种专为光刻工程师和 OPC 工程师设计的基于参数的向量生成器。 TPG 允许创建测试向量,以获取精确的模型调整和预测所需的光刻和其他工艺的影响。 TPG 可生成模型校准和流程调整所必需的一切文件,包括量规文件 (.ggs)、标记文件 (.hlt)、ASD 文件 (.asd) 或 PFM 文件 (.pfm)。

TPG 关键功能
  • 直观和灵活的 GUI 环境,用于生成校准结构和定制测试芯片模板
  • 强大的应用编程接口或 API 提供了基于 Tcl 的接口,可实现工具完全自动化,访问 GUI 内部所有可用功能。
  • 库浏览器 – 允许访问多种标准测试向量结构,并能够填充用户定义的测试向量结构
  • 链接至 Sentaurus 光刻工艺 – TPG 中创建的任何向量都可以在 Sentaurus 光刻工艺中重用,以进行严格仿真

Proteus MetroKit
图 1: 模型生成流程

SEM 流程创建工具 (SEMRC)
SEMRC 通过为任何设计或 OPC 后图形创建测量点,可自动生成 CD-SEM 流程。 这些位置的晶圆向量的坐标和图形化表示被创建为一种可由日立公司的 Design Gauge(设计量规)和应用材料公司的 OPC Check(OPC 检查)读取的格式。 基于 Tcl 的 API 具备使工具完全自动化的能力。

SEM 数据抽取器 (SEMDE)
轻松导入 CD-SEM 数据,分辨您的数据中的异常值。 SEMDE 提供易于使用的界面,以检查 SEM 测量结果,让您可以快速识别数据坏点并删除,对数据重格式化以生成模型。

SEM 量规生成器 (SEMGG)
SEM 轮廓自动转换为量规,创建 ASD 文件 (.asd) 用于 ProGen 进行 OPC 模型校准。 模型生成后,SEMGG 可用于模型验证,评估模型的可预测性。

SEM 工具关键功能
  • 完全支持任何来源的量规和版图剪辑
  • 灵活的高级编程语言,用于自动化
  • 离线 SEM 流程生成
  • 轻松导入和分析来自 SEM 的数据
  • 无缝链接,将轮廓整合入您的模型调整中

要获取更多信息,请联系您当地的销售代表或发送电子邮件至 manufacturing@synopsys.com