Jobdeck 操作 

强大且高度互动的光罩和图形支持 

Jobdeck Viewing
CATS 最受欢迎的可选功能之一就是 Jobdeck Viewing。凭借对 MEBES™、JEOL™、Hitachi™ 和 NuFlare/Toshiba™ 电子束系统快速、准确、图形化的支持,CATS 的 Jobdeck Viewing 提供了验证复杂 jobdeck 所需的可视化分析工具。用户可显示光罩轮廓和标题,以及图形边界和/或图形数据。这些功能与高速绘图算法以及全面的颜色、填充样式和线条样式控件相结合,提供了行业标准的工具集,可用于 jobdeck 分析、问题排除和验证。

支持输入和叠加两个 jobdeck,进一步加强了验证和问题排除能力。jobdeck 可相对于彼此进行缩放和偏移,以确保正确叠加。该选项还支持额外验证图形的叠加,以确保相对于盒夹具、薄膜框架等正确放置图形。

Jobdeck Editing
Jobdeck Editing 选项基于 CATS Jobdeck Viewing 所设的坚实图形化基础而构建,扩展了组件的功能和用户的能力,支持命令驱动的互动式 jobdeck 创建和修改。

凭借各种用来添加、删除、移动和操作标题及图形的工具,以及辅助于光罩版图的强大功能,Jobdeck Edit 选件大大增强了制造和验证工具的功能。

在交互会话中,用户可结合使用 Jobdeck Viewing 提供的显示和验证功能与 Jobdeck Editing 的图形、标题和曝光修改功能。嵌入和取出可以通过简单的指向点击操作轻松完成。用户可以通过导入功能使用标准的 jobdeck 元素,也可以通过一些简单而强大的自动化功能使用标准化模板。圆形和矩形阵列构造能轻松实现准确的阵列计算。

CATS 提供了先进的命令驱动语言,进一步增强了自动化和验证功能。CATS 通过使用自有的 jobdeck 格式,扩展了这些针对特定工具的 jobdeck 功能。CATS Jobdeck Format 提供特定工具的 jobdeck 格式中所没有的工具和功能,同时可以将其内部格式转换为目标格式。

Jobdeck Smashing
Jobdeck Smashing 这一独特选件兼具了 CATS 的行业标准分解与卓越的 jobdeck 图形化。无论是生成光罩检测数据,还是为当今的高端曝光工具创建优化的电子束数据,Jobdeck Smashing 都可让用户按照指定的分解限制范围,将 jobdeck 中的所有图形数据分解成单个图形文件。

虽然不同的电子束格式允许通过 jobdeck 组合多个图形文件,但检测工具通常要求检测数据库以单个文件的形式提供。CATS 可让用户将 CATS 能够读取的任何格式(包括 jobdeck)转换成任何支持的可选检测格式。

该功能的另一关键用途在于,当今很多最先进的电子束曝光工具都倾向于同时查看大段数据,以便尽可能地缩短阶段传播时间和提高吞吐量。从设计和早期数据准备的角度来看,虽然为工具提供多个更易于管理的小文件是更简单的做法,但是某些工具在处理可通过 CATS Jobdeck Smashing 生成的单个大型图形文件时更有效率。

另一种强大的组合就是 CATS Jobdeck Smashing 与 CATS MRC(制造规则核查)。MRC 可让用户对 CATS 能够读取的任何文件(包括 jobdeck)执行高速宽度和间距验证。设计师和光罩制造商终于能够对分解后的数据和 jobdeck 运行类似 DRC 的验证了。毕竟,DRC 只在设计阶段才有效。这种组合无法验证两种标准光罩数据准备流程通用的操作(以及在 jobdeck 中可能进行的很多潜在图形操作)尚未违反设计规则或造成光罩曝光或检测的非优化情况。